激光技术在当今的社会生产和生活中得到了十分广泛的应用，同时其在很多方面都发挥着十分重要的作用，在这样的情况下，激光
干涉仪在这一过程中也得到了发展和完善，
激光干涉仪技术在科技的推动下也在不断的改进和完善，而其自身的功能也得到了显著的提升，所以其作用也凸显了出来。
激光干涉仪是精度高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，可溯源至国家标准。但是在使用中往往会出现检测偏离值，偏离预估的情况，下面来介绍几个引起激光干涉仪测量误差的原因。VYG检测VBA
1、阿贝误差VYG检测VBA
因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。VYG检测VBA
2、环境因素VYG检测VBA
环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。VYG检测VBA
同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度，对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置，致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态，从而增大测量误差。VYG检测VBA
正确方式：在线性测量中，需要开启环境补偿单元，并正确设置补偿材料的种类，放置材料温度探头的位置。在高精度的测量中，需要给予环境补偿单元以及被测物充分的恒温时间。VYG检测VBA
3、余弦误差VYG检测VBA
激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，此误差被称为余弦误差。VYG检测VBA
当激光测量系统与运动轴未准直时，余弦误差会使得测量的距离比实际距离要短。随着未准直角度的增加，误差也跟着显著增加VYG检测VBA
处理方法：若激光测量出现余弦误差，则激光读数将会小于原本应有的数值。因此，通过“轻微”调整云台的俯仰及偏转旋钮直到取得最大的激光读数，将能消除轴上的余弦误差。VYG检测VBA
4、死程误差VYG检测VBA
死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。VYG检测VBA
处理方法：在设定定标位置时，固定反射镜和移动镜组应尽量彼此邻接，以此减小死程误差。VYG检测VBA
5、镜组的安装细节VYG检测VBA
为了最小化振动作用并加强测量稳定性，镜组应牢靠固定到所需的测量点上；磁力表座应直接吸住机床底座，避免吸装在机床护罩或机床盖等较薄弱的部分；确保吸装的表面平坦且没有杂质。VYG检测VBA
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激光干涉仪激光干涉仪测量误差的原因_激光干涉仪
【检测VBA 使用手册】激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用激光的高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点和迈克耳逊干涉系统来测量位移的通用长度测量仪器，主要分为单频的和双频两种。
使用原理：目前用于测量长度的干涉仪，主要以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可以配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
注意事项：
1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。
2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。
3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。
4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学方法进行清洁，严禁丙酮擦拭。
5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。
6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。
7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。
8、不用设备时需将激光器出光口前盖，旋转90度，防止外部粉尘进入激光头内部。
9、对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动。
10、仪器不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。
